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拉晶爐市場前景廣闊 但仍依賴進口

2019-09-07 10:29      責任編輯:楊楊    來源:www.qrieef.com.cn    點擊:
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拉晶爐市場前景廣闊 但仍依賴進口

        拉晶爐是晶體硅生長設備的一種,主要由用于生產合成硅材料的機械爐室、電器控制柜和主要的石墨熱場系統等構成;其主要運行原理是通過石墨熱場在機械爐室內把硅料熔化成液態,在電器控制柜的自動控制下在主爐室內合成制備凝結成單晶硅棒。

        根據拉晶工藝的不同,拉晶爐可分為單晶硅生長爐、硅單晶區熔爐兩種。硅單晶區熔爐指一種高純單晶硅棒生長設備,用于懸浮區熔提純與單晶生長,生長出的單晶硅主要用于高功率的電子元件中;單晶硅生長爐是在真空狀態和惰性氣體保護下,通過石墨電阻加熱器將多晶硅原料加熱熔化,然后用直拉法生長單晶的設備,生長出的單晶硅主要用于生產低功率的集成電路元件。

        拉晶爐的研制涉及熱力學、流體力學、半導體材料、電氣、機械、計算機以及控制理論等多學科,是一項系統性工程,包括機械部件、電氣硬件、控制軟件、熱場結構和晶體生長工藝的設計開發,技術工藝復雜。因此,拉晶爐行業壁壘較高,目前國內能夠生產半導體拉晶爐設備的廠家只有極少數,比如浙江晶盛機電股份有限公司、南京晶能半導體科技有限公司、上海漢虹精密機械有限公司等,國內拉晶爐設備仍主要以進口為主,進口企業主要是美國Kayex公司、日本Ferrotec、德國PVA TePla AG等。根據新思界產業研究中心發布的《2019-2023年中國拉晶爐市場分析及發展前景研究報告》顯示,2018年美國Kayex公司、日本Ferrotec、德國PVA TePla AG三家企業占據國內拉晶爐62%左右的市場份額。

        拉晶爐設備屬于高新技術產業,其發展對國民經濟和國家戰略發展具有重要影響。近年來,國家不斷出臺產業政策,支持半導體和光伏行業的發展。在國家政策的推動下,中國半導體、光伏等行業得到快速發展,對大尺寸半導體晶圓的市場需求也在快速增長。

        另外,全球集成電路產業的制造重心、消費市場及人才逐漸向中國積聚,產業重心轉移趨勢明顯。在制造環節,臺電、中芯國際等全球主要晶圓制造企業紛紛在我國建立、擴充生產線,為拉晶爐設備發展提供了良好的產業基礎。新思界行業分析師表示,我國拉晶爐行業處于發展期初期階段,未來仍有較大的市場開拓空間,前景廣闊。
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